氣敏傳感器用黃色氧化鎢納米線具有優(yōu)良的氣敏性能。專(zhuān)家表示，如果將黃色氧化鎢納米線與硅納米線復(fù)合獲得硅納米線-氧化鎢納米線復(fù)合結(jié)構(gòu)，其界面會(huì)形成同型異質(zhì)結(jié)，在NO2氣體中，異質(zhì)結(jié)中耗盡層寬度的增長(zhǎng)對(duì)其氣敏性能的提升有著重要的作用。
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硅納米線-氧化鎢納米線復(fù)合結(jié)構(gòu)的制備
有專(zhuān)家采用金屬輔助化學(xué)刻蝕和納米球自組裝相結(jié)合的方法在n型單晶硅片上制備出具有高度有序化陣列的硅納米線。隨后用磁控濺射法在硅納米線表面淀積一層金屬鎢薄膜，通過(guò)對(duì)其進(jìn)行管式爐熱處理，制備了硅納米線-氧化鎢納米線復(fù)合結(jié)構(gòu)。
