納米結(jié)構(gòu)的氧化鎢具有高比表面積和氣體吸附能力，可以制成高效NO2傳感器。有專家采用磁控濺射金屬鎢薄膜和兩步熱氧化工藝在SiO2襯底上生長(zhǎng)出氧化鎢納米線，并通過改變第二步氧化溫度，研究退火溫度對(duì)氧化鎢納米線氣敏特性的影響。專家還采用SEM、X射線衍射儀、X射線光電子能譜分析儀和TEM表征材料的微觀特性和晶體結(jié)構(gòu)，利用靜態(tài)配氣法測(cè)試氣敏性能。
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結(jié)果表明，經(jīng)過退火處理后氧化鎢納米線密度略微降低，300℃比400℃退火后的氧化鎢結(jié)晶性差，對(duì)應(yīng)的表面態(tài)含量多，有利于室溫氣體敏感性。測(cè)試NO2的氣敏性能，經(jīng)過對(duì)比得出300℃退火溫度下制備的氧化鎢納米線在室溫下表現(xiàn)出較很好的氣敏響應(yīng)，對(duì)6ppm NO2達(dá)到2.5，對(duì)檢測(cè)極限0.5ppm NO2響應(yīng)達(dá)1.37。也就是說，利用這些氧化鎢納米線制成的傳感器即為高效NO2傳感器。
