晶圓探針卡用什么材料的探針？晶圓探針卡用鎢針。探針卡是一種用于晶圓測(cè)試的工具，通常由一測(cè)試電路板和位于電路板上的針尖彎折成95-105度的錐形鎢針構(gòu)成。測(cè)試時(shí)，將鎢探針的針頭直接接觸被測(cè)晶圓的襯墊，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的電性能測(cè)試。
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測(cè)試中，當(dāng)鎢探針針頭接觸到晶圓襯墊時(shí)，探針卡的平臺(tái)會(huì)給出上升標(biāo)準(zhǔn)的高度，在晶圓的襯墊上留下痕跡。因?yàn)殒u針是錐形的，通過(guò)多次測(cè)試時(shí)磨損，針頭的直徑為越來(lái)越大。常規(guī)下，要求探測(cè)鎢針的針頭扎在晶圓襯墊上時(shí)，接觸面積不能超過(guò)晶圓襯墊的四分之一。如果超過(guò)該值，該探針卡為必須報(bào)廢。
